THÔNG TIN HỮU ÍCH
Chất làm lạnh Khí R14
|
CHỦ ĐỀ: Refrigerant gas R14 |
||
|
Kiểm tra Mục |
Đặc điểm kỹ thuật |
Phân tích Kết Quả |
|
Tiêu Chuẩn kiểm tra |
Q/JXHY012-2015 |
|
|
Sự xuất hiện & Mùi |
KHÔNG MÀU, RÕ RÀNG, KHÔNG MÙI |
|
|
Độ tinh khiết, % theo trọng lượng |
≥ 99.99 |
≥ 99.999 |
|
Độ ẩm, ppm theo trọng lượng |
<10 |
≤ 1 |
|
, Độ chua, (như trong HCL), ppm |
<0.3 |
≤ 0.1 |
|
O2,ppm (V/V) |
<10 |
≤ 2 |
|
N2,ppm (V/V) |
<40 |
≤ 5 |
|
CO,ppm (V/V) |
<1 |
≤ 1 |
|
CO2,ppm (V/V) |
<10 |
≤ 1 |
|
SF6,Ppm (V/V) |
<5 |
≤1 |
|
THC,(C2F6/CH2F2/CHF3/C3F8)ppm (V/V) |
<30 |
≤0.1 |
|
Kết luận: |
||
|
KHÍ R14:Tetrafluoromethane là đôi khi được sử dụng như một nhiệt độ thấp lạnh. Nó được sử dụng trong thiết bị điện tử microfabrication một mình hoặc kết hợp với oxy như một Plasma etchant cho silicon, silicon Dioxide, và silicon nitride. Nó cũng có sử dụng trong Neutron Máy dò một lượng Lớn của tetrafluoromethane là vô tình phát hành tại chính nhôm sản xuất.
|
||
