Công dụng của khí trong sản xuất điện tử

11/02/2022

Sau khi bước vào những năm 1990, với sự phát triển nhanh chóng của công nghệ cao và mới ở nước ta, ngành công nghiệp máy tính đã gia tăng một số lượng lớn các vi mạch tích hợp quy mô lớn; sản xuất ở Trung Quốc; ngoài ra, các nguồn sáng điện mới, thiết bị bán dẫn quang điện tử (GaAs , InP, AlGaAs), cáp quang Các thiết bị thông tin liên lạc cũng phát triển nhanh chóng, trong quá trình sản xuất các sản phẩm công nghệ cao nói trên, đòi hỏi một số lượng lớn các thiết bị.

Lắng đọng hơi hóa chất LSI
: SiH4, NH3, O2, N2O, TEOS (tetraethoxysilicon)
khắc hóa chất: CF4, SF6, NF3, Cl2, CCl, BCl3, KrF, ArF, HBr, HCl
pha tạp chất hóa học: BF3, B2H6, PH3, AsH3

Lắng đọng hơi hóa chất LCD
: SiH4, SiNx
khắc hóa chất: SF6, HCl, Cl2

Lắng đọng hơi hóa chất của pin mặt trời:
khuếch tán SiH4, NH3, NF3, khắc: POCl3, O2, CF4

Lắng đọng hơi hóa chất bán dẫn quang điện
: AsH3, PH3, NH3, N2, H2
Hóa chất ăn mòn: BCl3, Cl2

Sự lắng đọng hơi hóa học của sợi quang
: SiH4, SiCl4, D2, GeCl4 Khắc
hóa học: CF4, KrF, ArF, Cl2, SF6