Xử lý khí thải nhà máy điện tử

29/04/2022

Sự phát triển của các thiết bị điện tử thông minh đã thúc đẩy ngành điện tử trên thế giới tăng trưởng mạnh mẽ trong những năm gần đây. Việt Nam cũng là một trong những quốc gia được hưởng lợi từ điều này khi nhiều tập đoàn lớn đã lựa chọn Việt Nam để xây dựng nhà máy sản xuất, giải quyết được vấn đề về việc làm cho người dân, giúp tăng trưởng kinh tế. Tuy nhiên, điều đáng lo ngại chính là lượng khí thải từ ngành công nghiệp này sẽ để lại hệ quả khôn lường cho môi trường và con người.

Nhà máy điện tử là nhà máy sản xuất linh kiện điện tử, cho ra đời các sản phẩm điện tử

Việc tính toán lượng khí thải điện tử và tác động của chúng đối với môi trường đòi hỏi một cách tiếp cận đa chiều. Chúng có thể bao gồm khí phát thải nhà kính, bụi, hóa chất độc hại. Điều quan trọng hơn chính là việc các doanh nghiệp chưa thực sự áp dụng tốt các giải pháp xử lý khí thải hoặc lơ là trong khâu kiểm soát khiến chất thải có cơ hội phát tán ra môi trường. Một số quy trình sản xuất thiết bị điện tử tiên tiến sử dụng các hợp chất flo (FC) để khắc plasma các mẫu phức tạp, làm sạch lò phản ứng và kiểm soát nhiệt độ. Theo số liệu thống kê, ngành công nghiệp điện tử phát thải khí FC là chất khí ở nhiệt độ phòng và FC là chất lỏng ở nhiệt độ phòng. Các khí bao gồm CF4, C2F6, C3F8, c-C4F8, c-C4F8O, C4F6, C5F8, CHF3, CH2F2, nitơ trifluoride (NF3) và lưu huỳnh hexafluoride (SF6) được sử dụng trong hai bước quan trọng của sản xuất điện tử bao gồm vật liệu có chứa silicon ăn mòn plasma và làm sạch chất lắng đọng hơi hóa học (CVD) thành buồng chứa dụng cụ nơi silicon đã lắng đọng. Phần lớn phát thải FC là do hiệu suất sử dụng hạn chế (tức là tiêu thụ) tiền chất FC trong quá trình ăn mòn hoặc quá trình làm sạch. Ngoài ra, một phần của các hợp chất flo được sử dụng trong quá trình sản xuất có thể được chuyển đổi thành sản phẩm phụ CF4 và trong một số trường hợp thành C2F6, CHF3 và C3F8.

Song song với sự phát triển kinh tế, ngành công nghiệp điện tử phải đối mặt với vấn đề về chất gây ô nhiễm môi trường (Ảnh môi trường)

Như vậy, song song với lợi ích về kinh tế, ngành công nghiệp điện tử để lại những hệ quả đáng lo ngại cho môi trường. Nếu không có các biện pháp xử lý kịp thời, Trái đất, mà trước tiên là quốc gia có nhà máy điện tử hoạt động sẽ phải đối mặt với nhiều vấn đề.

Giải pháp xử lý khí thải ngành điện tử một cách toàn diện

Để xử lý khí thải ngành điện tử, cần kết hợp nhiều công nghệ khác nhau, từ việc thu gom chất thải cho đến giải quyết phụ phẩm. Các phương pháp khác nhau được gợi ý như: Hấp phụ, hấp thụ, phương pháp sinh học, phương pháp ướt, phương pháp đốt, … Lọc tĩnh điện và ozone cũng được sử dụng để tăng hiệu quả làm sạch. Máy lọc tĩnh điện hoạt động bằng cách tạo ra môi trường điện tích, tích điện cho các hạt, khói trong luồng khí thải, khiến chúng trở thành các hạt mang điện tích dương và dễ dàng bám vào thành các điện cực, không thể đi ra ngoài.

Máy lọc tĩnh điện xử lý khí thải dựa trên nguyên lý điện trường

Máy tạo ozone hoạt động theo nguyên lý khác, chúng tạo ra ozone- chất có tính oxy hóa khử mạnh để phản ứng với các hóa chất, làm bất hoạt vi sinh vật, tạo ra sản phẩm mới mang tính thân th

Nguyên lý hoạt động của ozone

Công nghệ lọc tĩnh điện và ozone thường được kết hợp với nhau để đảm bảo hiệu quả xử lý khói, bụi, mùi và vi khuẩn. Khi lắp đặt trong hệ thống có các công nghệ khác, hiệu quả xử lý khí thải công nghiệp nói chung và khí thải ngành điện tử nói riêng được đảm bảo toàn diện.